�����Ը����������������������������ص㣺

����1���Ƚ������ȣ�����λ�Ƶ������Բ���0.1um��������Χ�Ƚ�С���ʺ���Сλ�Ʋ�����

����2������ź��DZȽϴ�ģ�����ȽϺã��з����ԡ�

����3��������󣬹������ıȽϴ�(�����ǵ�����Ӧʽ�ӽ�����)��

����4������Ҫ�󣬼ӹ����ס�

�������ʽ�ӽ�������һ�ֵ�Ż�е���������㷺Ӧ�ã�����������ֱ�Ӳ���ֱ��λ�ƺͽ�λ�Ƶľ�̬�Ͷ�̬���ݣ���Ҳ�ܻ������ɶ๦�ܴ����������ڲ�������ѹ����Ť�غ�������������

��������ѹ�����������ʽ�������ǻ��ڵ�д��������ı�������ij��ȡ���ԭʼ��˹ѹ��Ĥ�еĸо���ѹ������Ĥ��������Ҫ�󲻸ߵij��Ϻͱ���ϵͳ�ľ��Ȳ������ഫ�������봫�����նȡ�