�����ں��պ�����Ӧ�õĴ�ͨ�Ŵ�ǿ�Ƶ����ƴ󶼲��û�е�ֶ��Ʊ���������Ȧ�ͽ�����Ȧ���û�е���߷�ʽ����о����ô��Ľ������ԺϽ��Ҵŵ��ʽϵͣ��ӿڵ�·���ͨ����翪������Ԫ���ֿ����죬����������������������ȵ͡������ȶ��Բ20���;�ʮ���������MEMS�������ٷ�չ��Ϊ��ͨ�Ŵ�ǿ�Ƶ�΢ϵͳ�����ṩ���н����ɿ���;����

������ͨ�Ŵ�ǿ�Ƶ�΢�ͻ��ͽӿڵ�·�ļ��ɻ��Ǵ�ͨ�Ŵ�ǿ��ʵ��΢�ͻ��ı�ȻҪ�󡣲���MEMS������CMOS���գ��ɽ���ͨ�Ŵ�����Ԫ����������Ƶ�·������ͬһоƬ�ϣ����γɴ�ͨ��΢��ǿ��ϵͳ����ͨ�Ŵ�ǿ�Ƶ�����΢��ͨ�Žṹ��ʽ����ͨ��΢��е�ӹ��ڹ�Ƭ�ϼǵó�һ��U�βۣ�Ȼ���ڲ۵������γɽ�����Ȧ���°벿�֣����Ʊ�һ���ԵĤ�Ժ����Ʊ���Ī�Ͻ��о�����Ʊ��ڶ����ԵĤ֮�����Ʊ�������Ȧ���ϰ벿�֡���Ȧ���ϡ��²��ֺ���һ�𣬾��γ�һ��������Ī�Ͻ��о�ⲿ��������Ȧ����ͬ���ķ���Ҳ�������ṹ������Ҫ��U�βۡ�